基于MWCNTs/Nafion復(fù)合膜的高性能聲表面波濕敏傳感器研究

編號(hào)：CSJS00046

篇名：基于MWCNTs/Nafion復(fù)合膜的高性能聲表面波濕敏傳感器研究

作者：雷聲； 陳大競(jìng)； 陳裕泉； 潘敏；

關(guān)鍵詞：濕敏傳感器； 聲表面波； 復(fù)合材料； 碳納米管；

機(jī)構(gòu)： 浙江大學(xué)生物傳感器國(guó)家專業(yè)實(shí)驗(yàn)室生物醫(yī)學(xué)工程系；

摘要： 濕度檢測(cè)廣泛應(yīng)用于工業(yè)、醫(yī)療等各個(gè)領(lǐng)域,對(duì)高性能濕度傳感器的需求日趨迫切。首先對(duì)聲表面波傳感器敏感機(jī)理進(jìn)行了深入的分析,得到影響其性能的主要因素。在此基礎(chǔ)上研制出一種以多壁碳納米管(MWCNTs)和Nafion復(fù)合材料為濕敏膜,高頻聲表面波諧振器為換能元件的高性能濕敏傳感器。實(shí)驗(yàn)表明,制得的濕敏傳感器在寬濕度范圍內(nèi)(10%RH～80%RH)具有很高的檢測(cè)靈敏度(大于300 kHz%RH),良好的線性度及快速的響應(yīng)速度(<10 s)。并通過(guò)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)一步討論了復(fù)合材料中MWCNTs和Nafion對(duì)傳感器性能的影響。