溫濕度對SnO2基CO氣體傳感器敏感特性的影響

編號：FTJS02932

篇名：溫濕度對SnO2基CO氣體傳感器敏感特性的影響

作者：薛嚴(yán)冰； 唐禎安；

關(guān)鍵詞：CO氣體傳感器； 環(huán)境溫濕度； 氣敏特性； Pd摻雜SnO2； 摻雜濃度；

機(jī)構(gòu)： 大連交通大學(xué)電氣信息學(xué)院； 大連理工大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)院；

摘要： 采用溶膠-凝膠法制備了納米SnO2粉體及Pd摻雜濃度比分別為0.2 mol%、2 mol%1、0 mol%的三種摻雜粉體。以制得的粉體作為敏感材料,制成陶瓷微熱板式CO氣體傳感器。在自行搭建的氣體測試平臺上,測試了各傳感器在不同環(huán)境溫濕度條件下對CO的響應(yīng),研究了Pd摻雜濃度對傳感器濕度穩(wěn)定性的影響,探討了濕度影響傳感器靈敏度的機(jī)理。實驗結(jié)果表明:0.2 mol%Pd摻雜器件在不同濕度條件下靈敏度離散度由摻雜前的20.5%降低至8.63%,有效提高了傳感器的濕度穩(wěn)定性。10 mol%Pd摻雜器件在濕度大于50%相對濕度時,對20×10-6 CO出現(xiàn)反常響應(yīng),在還原氣體CO出現(xiàn)時氣敏膜電導(dǎo)減小。