銦錫氧化物陶瓷靶的制備

編號(hào)：CPJS01344

篇名：銦錫氧化物陶瓷靶的制備

作者：劉喜波； 陳派明； 楊碩；

關(guān)鍵詞：銦錫氧化物； 退火； 噴霧造粒； 靶材；

機(jī)構(gòu)： 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七二五研究所；

摘要： 研究了銦錫氧化物(ITO)粉末退火后的組織和結(jié)構(gòu),比較了不同狀態(tài)的粉末和制備工藝對(duì)ITO靶材的影響。結(jié)果表明,納米ITO粉末在800℃以下具有體心立方In2O3結(jié)構(gòu),1100℃退火后由In2O3和SnO2兩相組成;ITO粉末經(jīng)過(guò)噴霧造粒后,形成了實(shí)心球形顆粒并具有合理的顆粒級(jí)配,通過(guò)氣氛燒結(jié)可以制備出高密度優(yōu)良的ITO靶材。