熱處理對(duì)紅外窗口鍍層金屬的影響

編號(hào)：FTJS02906

篇名：熱處理對(duì)紅外窗口鍍層金屬的影響

作者：史夢(mèng)然； 曹雪峰； 趙建忠；

關(guān)鍵詞：熱處理； 紅外透過窗口； 金屬薄膜； 力學(xué)特性；

機(jī)構(gòu)： 華北光電技術(shù)研究所；

摘要： 采用直流磁控濺射法制備紅外透過窗口Ge窗的鍍層金屬。分別討論了熱處理溫度和熱處理時(shí)間對(duì)Ge窗金屬化體系力學(xué)特性的影響。用納米壓痕儀測試儀測試Ge窗金屬化體系的顯微力學(xué)特性,并用金相顯微鏡觀測金屬薄膜的表面形貌,發(fā)現(xiàn)退火溫度對(duì)Ge窗片上的金屬薄膜的力學(xué)特性有較明顯影響。