摻入SiO_2納米顆粒對厚膜ZnO氣敏傳感器氣敏性能的影響

編號：NMJS02975

篇名：摻入SiO_2納米顆粒對厚膜ZnO氣敏傳感器氣敏性能的影響

作者：孫迎偉； 胡木林； 周志剛；

關(guān)鍵詞：ZnO； 摻SiO2的Zn； 厚膜； 氣敏傳感器；

機(jī)構(gòu)： 華中科技大學(xué)納米材料與智能傳感器實(shí)驗(yàn)室；

摘要： 利用絲網(wǎng)印刷技術(shù),制備出摻入SiO2和未摻入SiO2的ZnO厚膜氣敏傳感器,測試對甲醇和乙醇的氣敏性能,并用場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)來分析表征氣敏膜的微觀形貌。結(jié)果表明SiO2的摻入有效地抑制了ZnO晶粒的長大。在工作溫度為400～450℃時(shí),SiO2的摻入顯著提高了ZnO厚膜氣敏傳感器對甲醇和乙醇的敏感度,而在工作溫度為200～350℃時(shí),SiO2的摻入明顯抑制了ZnO厚膜氣敏傳感器對甲醇和乙醇的敏感度。另外,SiO2的摻入使氣敏傳感器的響應(yīng)時(shí)間顯著延長了。最后,討論了厚膜氣敏傳感器的氣敏機(jī)理。