納米壓印中聚合物界面行為的分子動力學(xué)

編號：NMJS02943

篇名：納米壓印中聚合物界面行為的分子動力學(xué)

作者：熊孝東； 魏正英； 杜軍； 丁玉成；

關(guān)鍵詞：納米壓��； 分子動力學(xué)； 聚合物； 吸附； 相互作用能；

機構(gòu)： 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室(西安交通大學(xué))；

摘要： 在納米壓印中,模具和聚合物之間的相互作用能對(?)特征的圖型轉(zhuǎn)移質(zhì)量有著重要影響,文中利用分子動力學(xué)分別選擇聚二甲基硅氧(PDMS),聚乙烯(PE),聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)研究了他們和模具壁面之間在不同距離時,壁面和聚合物之間相互作用能的變化關(guān)系,并考慮聚合物填充過程中壓強對模具壁面和聚合物之間相互作用的影響,以及聚合物聚合度對他們之間的影響。通過研究得出,聚合物和壁面之間相互作用能隨距離的增大而減小,隨聚合物聚合度的增加而增大;對于常溫紫外壓印,壓強在233 kPa左右時聚合物和模具壁面間的相互作用能出現(xiàn)了峰值點。