用于六自由度納米微動臺的位移傳感器研制

編號：SBJS00288

篇名：用于六自由度納米微動臺的位移傳感器研制

作者：陳香蘭； 殷宗亮； 徐波；

關(guān)鍵詞：納米測量； 光纖； 光源誤差補償； 微型化；

機構(gòu)： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院；

摘要： 為測量六自由度納米微動臺的運動,研制了基于光纖微彎原理的位移傳感器。設(shè)計了新穎的光纖微彎調(diào)制結(jié)構(gòu),利用補償光纖消除了光源波動對測量精度的影響。實驗證明位移傳感器的測量精度為±0.048μm,位移分辨率為10 nm,顯著優(yōu)于同原理的其他位移傳感器。