磷離子注入納米金剛石薄膜的n型導電性能與微結構研究

編號：NMJS02535

篇名：磷離子注入納米金剛石薄膜的n型導電性能與微結構研究

作者：胡曉君； 胡衡； 陳小虎； 許貝；

關鍵詞：納米金剛石薄膜； n型； 磷離子注入；

機構： 浙江工業(yè)大學化學工程與材料學院；

摘要： 系統研究了磷離子注入并在不同溫度退火后的納米金剛石薄膜的微結構和電學性能.研究表明,當退火溫度達到800℃以上時,薄膜呈良好的n型電導.Raman光譜和電子順磁共振譜的結果表明,薄膜中金剛石相含量越高和完整性越好,薄膜電阻率越低.這說明納米金剛石晶粒為薄膜提供了電導.1000℃退火后,薄膜晶界中的非晶石墨相有序度提高,碳懸鍵數量降低,薄膜電阻率升高.薄膜導電機理為磷離子注入的納米金剛石晶粒提供了n型電導,非晶碳晶界為其電導提供了傳輸路徑.