噴霧干燥-冷等靜壓-燒結(jié)法制備ITO靶材的工藝研究

編號(hào)：FTJS02705

篇名：噴霧干燥-冷等靜壓-燒結(jié)法制備ITO靶材的工藝研究

作者：李晶； 趙曉東； 李芝華； 任冬燕；

關(guān)鍵詞：ITO靶材； 噴霧干燥； 冷等靜壓； 燒結(jié)；

機(jī)構(gòu)： 西南科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院； 中南大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院；

摘要： 以化學(xué)共沉淀法制備的ITO粉末為原料,采用噴霧干燥-冷等靜壓-燒結(jié)法制備了ITO靶材,通過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM)觀察粉末、素坯及燒結(jié)后ITO靶材的表面形貌和氣孔分布,并就粉末不同粒度組成對(duì)靶材壓制與燒結(jié)效果的影響進(jìn)行了分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:通過(guò)噴霧干燥-冷等靜壓-燒結(jié)工藝可制備出相對(duì)密度大于97%的ITO靶材,噴霧干燥工序能有效改善粉末的流動(dòng)性與壓形性,以細(xì)粉為主的素坯其燒結(jié)致密化程度更高。