短波長X射線衍射檢測晶體材料內(nèi)部缺陷的邊界閾值法

編號：FTJS02701

篇名：短波長X射線衍射檢測晶體材料內(nèi)部缺陷的邊界閾值法

作者：牟建雷； 張津； 高振桓； 鄭林； 何長光；

關(guān)鍵詞：短波長X射線； 衍射層析成像； 閾值法； 內(nèi)部缺陷； 晶體材料；

機構(gòu)： 北京科技大學(xué)北京市腐蝕磨蝕及表面技術(shù)重點實驗室； 西南技術(shù)工程研究所；

摘要： 在普通X射線源上進行X射線衍射斷層掃描成像檢測晶體材料內(nèi)部缺陷的研究極少,短波長X射線衍射儀(short wavelength X-ray diffractometer,SWXRD)相比同步輻射裝置,體積小巧、實用和維護費用低。在SWXRD上進行X射線衍射斷層掃描時,缺陷邊界的確定直接影響成像的質(zhì)量和缺陷的辨別。采用衍射強度閾值法對測試數(shù)據(jù)進行處理,使得缺陷邊界清晰可辨。運用Gauss函數(shù)擬合測試數(shù)據(jù)探索各種因素對閾值大小的影響,解決閾值設(shè)定的難題。通過研究置于鋁粉中的不同直徑像質(zhì)計對閾值大小的影響,發(fā)現(xiàn)閾值為基體強度的91%較合適。然后測試鋁板上的細縫進一步驗證了閾值法對缺陷邊界的改善和閾值選擇的準確性。