半導(dǎo)體用高純超細(xì)SiC粉體的表面改性

編號：FTJS02603

篇名：半導(dǎo)體用高純超細(xì)SiC粉體的表面改性

作者：李星； 鐵生年；

關(guān)鍵詞：超細(xì)粉體； 碳化硅； 表面改性； 分散性； 流動性；

機(jī)構(gòu)： 青海大學(xué)非金屬材料研究所；

摘要： 通過偶聯(lián)劑預(yù)處理、接枝聚合丙烯酸鈉兩步法對SiC粉體進(jìn)行表面改性,制備聚丙烯酸鈉接枝改性SiC粉體,并對改性粉體進(jìn)行表征,測試SiC粉體的zeta電位,討論改性對SiC粉體料漿分散穩(wěn)定性和流動性的影響。結(jié)果表明:SiC微粉經(jīng)表面改性后并未改變原始SiC微粉的物相結(jié)構(gòu),只是改變其在水中的膠體性質(zhì);微粉團(tuán)聚現(xiàn)象減少,分散性得到改善;改性SiC微粉與原始SiC微粉相比,表面特性發(fā)生很大變化,zeta電位值顯著提高,懸浮液的分散穩(wěn)定性得到明顯改善,且黏度降低。