高精度6inchF/5.4球面標準具結構研究與設計

編號：NMJS02311

篇名：高精度6inchF/5.4球面標準具結構研究與設計

作者：田偉； 史振廣； 隋永新； 楊懷江；

關鍵詞：應用光學； 光學檢測； 球面標準具； 參考面； 有限元法；

機構： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室；

摘要： 193nm光刻投影物鏡光學元件面形精度為納米級,因此要求檢測精度為納米到亞納米級。在高精度的光學元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,干涉儀標準球面鏡的精度要優(yōu)于λ/40。根據(jù)檢測要求,設計了一種新的標準鏡裝卡結構。采用有限元方法分析了參考面在重力作用下的面形變化情況,其最大面變形變化峰谷(PV)值僅為4.88nm,均方根(RMS)值為1.04nm。同時對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進行了計算得出面形的峰谷值和均方根值。利用標準具面形的Zernike系數(shù),得到了標準具系統(tǒng)的MTF,以實現(xiàn)標準具在重力作用下的像質評價。結果表明,所設計的標準具的結構可以滿足標準具的設計要求。最后設計了差動螺釘驅動誤差補償機構。