ZnO納米線陣列濕度傳感器研究

編號：NMJS02178

篇名：ZnO納米線陣列濕度傳感器研究

作者：顧磊磊； 鄭凱波； 孫大林； 莫曉亮； 陳國榮；

關(guān)鍵詞：ZnO納米線陣列； 濕度傳感器； 電容； 電阻；

機構(gòu)： 復旦大學材料科學系；

摘要： 采用水熱法在Au/Ni叉指電極上原位生長出整齊的ZnO納米線陣列。納米線的平均直徑和長度分別為50 nm和5μm,且沿[0001]方向高度擇優(yōu)生長。測試了基于納米線陣列的濕敏器件對不同濕度電容和電阻響應(yīng),并分析了它的工作機制。實驗結(jié)果表明,這些器件具有相對較大的靈敏度和較短的響應(yīng)和恢復時間,從而說明ZnO納米線陣列在濕敏領(lǐng)域有很好的應(yīng)用前景。