納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)位移傳感器校準(zhǔn)裝置

編號(hào)：NMJS02044

篇名：納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)位移傳感器校準(zhǔn)裝置

作者：任冬梅； 朱振宇； 萬(wàn)宇； 王少飛；

關(guān)鍵詞：干涉儀； 微位移測(cè)量； 納米壓入； 校準(zhǔn)；

機(jī)構(gòu)： 中航工業(yè)北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所；

摘要： 介紹了用激光干涉方法對(duì)納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)位移傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)的方法,并建立了校準(zhǔn)裝置;采用平衡式光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),干涉系統(tǒng)的抗干擾能力得到了顯著提高,通過(guò)零位移測(cè)量實(shí)驗(yàn)對(duì)裝置的穩(wěn)定性進(jìn)行了驗(yàn)證;用校準(zhǔn)裝置對(duì)TriboIndenter納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)的位移傳感器進(jìn)行了校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn),測(cè)量不確定度分析結(jié)果表明該系統(tǒng)測(cè)量壓頭位移的準(zhǔn)確度可以達(dá)到納米量級(jí)。