上海應物所制出超高靈敏硅納米線DNA傳感器

編號：NMJS01985

篇名：上海應物所制出超高靈敏硅納米線DNA傳感器

作者：

關鍵詞：硅納米線； 傳感器； 高靈敏； 加工技術； 信息技術研究； 研究進展； 微系統(tǒng)； 三角形截面； 課題組； 物理研究所；

機構：

摘要： <正>在最新一期的Nano Letters上(Nano Lett.,2011,11(9),pp 3974–3978,DOI:10.1021/nl202303y),中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所王躍林/李鐵課題組與上海應用物理研究所樊春海課題組以快報形式報導了他們在超高靈敏硅納米線DNA傳感器方面的合作研究進展。研究人員在傳統(tǒng)半導體加工技術的基礎上,利用硅材料自身的工藝選擇性,基于自上而下方法發(fā)展了硅納米線加工技術,并實現(xiàn)了納米級尺寸的精確控制。硅納米線不但寬度可以達到20納米,而且其三角形截面