多元復(fù)合納米膜自動(dòng)化鍍覆工藝的研究

編號(hào)：NMJS01896

篇名：多元復(fù)合納米膜自動(dòng)化鍍覆工藝的研究

作者：閆俊偉； 夏天野； 王從曾； 馬捷；

關(guān)鍵詞：80C51單片機(jī)； 自動(dòng)控制； 多弧離子鍍； 納米復(fù)合涂層；

機(jī)構(gòu)： 北京工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院；

摘要： 采用80C51單片機(jī)系統(tǒng)對(duì)PH-700A型多弧離子鍍膜機(jī)的起弧單元進(jìn)行了改進(jìn),實(shí)現(xiàn)了弧靶起弧的自動(dòng)控制,精確控制了不銹鋼靶的起弧間隔時(shí)間和燃弧時(shí)間。利用該套設(shè)備和多弧離子鍍技術(shù)以每間隔數(shù)分鐘開啟不銹鋼靶數(shù)秒的方式制備了TiN/不銹鋼多元納米復(fù)合膜層,并對(duì)膜層的斷口形貌、相組成、擇優(yōu)取向、硬度等進(jìn)行了測(cè)試分析。結(jié)果表明,鍍膜分層均勻,層與層之間有清晰的界面,晶粒尺寸普遍<15 nm,達(dá)到了納米晶水平。