用于納米測量的集成化單頻激光干涉儀

編號：CSJS00042

篇名：用于納米測量的集成化單頻激光干涉儀

作者：李立艷； 王堅(jiān)； 韓春陽； 苑勇貴； 吳冰； 楊軍； 苑立波；

關(guān)鍵詞：測量； 激光干涉儀； 納米測量； 差動干涉； 光路集成化；

機(jī)構(gòu)： 哈爾濱工程大學(xué)理學(xué)院光子科學(xué)與技術(shù)研究中心；

摘要： 研究了一種基于偏振光的集成式單頻激光干涉儀。利用偏振光學(xué)變換方法,實(shí)現(xiàn)了干涉儀的光學(xué)4細(xì)分結(jié)構(gòu),提高了測量靈敏度;構(gòu)建4路正交探測結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了干涉儀的無源偏振調(diào)制,擴(kuò)大了干涉儀測量范圍;采用光路集成化的設(shè)計(jì)方法,實(shí)現(xiàn)了一體化干涉儀光路集成。對激光干涉儀進(jìn)行振動測量實(shí)驗(yàn)研究,結(jié)果表明,靜態(tài)位移測量誤差小于±0.3 nm,振動測量的分辨率達(dá)10 pm/Hz1/2;上述集成單頻激光干涉儀具有測量精度高、穩(wěn)定性好、動態(tài)范圍寬、受環(huán)境影響小等優(yōu)點(diǎn),可被廣泛用于納米測量的各個領(lǐng)域。