微納米級(jí)表面微觀(guān)幾何形貌和粗糙度特性測(cè)量方法

編號(hào)：NMJS01533

篇名：微納米級(jí)表面微觀(guān)幾何形貌和粗糙度特性測(cè)量方法

作者：李成貴； 熊昌友；

關(guān)鍵詞：微納米表面； 表面粗糙度； 微觀(guān)幾何形貌； 測(cè)量方法；

機(jī)構(gòu)： 北京航空航天大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院； 中航工業(yè)北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所；

摘要： 概述微納米級(jí)表面微觀(guān)幾何形貌和粗糙度特性的幾種測(cè)量方法和測(cè)量原理,如觸針?lè)�、光學(xué)法、原子力法等,并介紹市場(chǎng)上在用的幾類(lèi)代表性表面形貌商用儀器(如粗糙度儀、輪廓儀、干涉儀、測(cè)量顯微鏡等)的特點(diǎn)、性能指標(biāo)及應(yīng)用范圍,對(duì)微納米級(jí)表面質(zhì)量測(cè)量和評(píng)價(jià)有參考價(jià)值。