納米加工技術(shù)的研究進(jìn)展

編號(hào)：NMJS01525

篇名：納米加工技術(shù)的研究進(jìn)展

作者：張文毓； 侯世忠；

關(guān)鍵詞：納米加工技術(shù)； SPM； 電子束光刻； 微納米加工；

機(jī)構(gòu)： 洛陽(yáng)船舶材料研究所；

摘要： 納米技術(shù)的核心是納米加工技術(shù)。文章闡述了納米加工技術(shù)的研究現(xiàn)狀、應(yīng)用和前景展望。希望對(duì)納米加工技術(shù)有所了解。