氣相色譜法測定高純六氟化鉬中的微量雜質

編號：NMJS09265

篇名：氣相色譜法測定高純六氟化鉬中的微量雜質

作者：倪珊珊 申永明 呂舜 解曉虎 劉志陽 李冰

關鍵詞： 六氟化鉬 氣相色譜 氦離子化檢測器 反吹

機構： 中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司

摘要： 一種脈沖進樣方法分析六氟化鉬中痕量氣態(tài)雜質的方法。采用放電氦離子化檢測器氣相譜儀，通過吹掃氣路，實現(xiàn)了六氟化鉬中痕量H2、N2、O2、CH4、CO、CF、CO2、N2O和SF6的分離與分析。