硼擴(kuò)散設(shè)備溫度控制系統(tǒng)的研究與實(shí)現(xiàn)

編號：SBJS01079

篇名：硼擴(kuò)散設(shè)備溫度控制系統(tǒng)的研究與實(shí)現(xiàn)

作者：彭浩 黃心沿 吳志明 鄒臻峰

關(guān)鍵詞： TOPCon太陽電池 硼擴(kuò)散設(shè)備 溫度控制系統(tǒng) 插片方式 分區(qū)爐體

機(jī)構(gòu)： 湖南紅太陽光電科技有限公司 中國電子科技集團(tuán)第四十八研究所 中南大學(xué)傳感技術(shù)研究所

摘要： 近年來,隨著光伏行業(yè)持續(xù)快速的發(fā)展,n型TOPCon太陽電池技術(shù)路線得到市場認(rèn)可,產(chǎn)能不斷擴(kuò)張。硼擴(kuò)散設(shè)備作為TOPCon太陽電池核心工藝設(shè)備之一受到市場極大的關(guān)注,其溫度控制系統(tǒng)在工藝生產(chǎn)過程起著決定性的作用。對比硼擴(kuò)散設(shè)備實(shí)際應(yīng)用過程中傳統(tǒng)爐體使用水平插片方式和順氣流垂直插片方式后得到的硅片片間的方阻均勻性,發(fā)現(xiàn)水平插片方式存在舟內(nèi)中層硅片方阻偏高,方阻均勻性不滿足技術(shù)性指標(biāo)要求的問題。對此設(shè)計了新型分區(qū)爐體,提出3種溫度控制系統(tǒng)方案,并通過工藝驗(yàn)證得出滿足技術(shù)性指標(biāo)要求的方案。研究結(jié)果表明:分區(qū)爐體搭配水平插片方式時,采用溫度控制系統(tǒng)方案3可以滿足技術(shù)性指標(biāo)的要求。