藍(lán)寶石/石墨烯襯底上藍(lán)光LED外延生長(zhǎng)及光電性能

編號(hào)：CYYJ04290

篇名：藍(lán)寶石/石墨烯襯底上藍(lán)光LED外延生長(zhǎng)及光電性能

作者：林易展 熊飛兵 李森林 董雪振 高默然 丘金金 周凱旋 李明明

關(guān)鍵詞： 藍(lán)寶石/石墨烯 晶體質(zhì)量 效率下降 散熱性能

機(jī)構(gòu)： 廈門理工學(xué)院 廈門士蘭明鎵化合物半導(dǎo)體有限公司 北京石墨烯研究所

摘要： 對(duì)在藍(lán)寶石/石墨烯襯底上生長(zhǎng)LED(Light-emitting diodes)外延的方法及其對(duì)光電性能的改善進(jìn)行了探究。研究結(jié)果表明,藍(lán)寶石/石墨烯襯底具有更低的位錯(cuò)密度,螺位錯(cuò)和刃位錯(cuò)比傳統(tǒng)樣品分別減少了15.3%和70.8%。拉曼測(cè)試也表明藍(lán)寶石/石墨烯樣品受到的壓應(yīng)力小于傳統(tǒng)樣品。元素分析結(jié)果表明,有源區(qū)量子阱生長(zhǎng)情況較好,In和Ga元素均勻地分布在量子阱中,未發(fā)生相互擴(kuò)散的情況。光電性能測(cè)試結(jié)果發(fā)現(xiàn),無(wú)論是在工作電流還是飽和電流下,藍(lán)寶石/石墨烯樣品的LOP(Light output power)都大于傳統(tǒng)樣品,工作電流和飽和電流下LOP分別增加了18.4%和36.7%,并且效率下降較傳統(tǒng)樣品有所改善,相較于傳統(tǒng)樣品效率下降減少了9.9%。從變溫測(cè)試結(jié)果可以得到,藍(lán)寶石/石墨烯樣品也表現(xiàn)出較低的熱阻、結(jié)溫和較小的波長(zhǎng)偏移,其平均熱阻比傳統(tǒng)樣品低了5.14℃/W。結(jié)果表明,在藍(lán)寶石/石墨烯襯底上外延生長(zhǎng)的樣品對(duì)器件的光電性能和散熱性能等都有較大的提升。