高效背結(jié)異質(zhì)結(jié)太陽電池硼摻雜非晶硅發(fā)射極研究

編號：CYYJ04015

篇名：高效背結(jié)異質(zhì)結(jié)太陽電池硼摻雜非晶硅發(fā)射極研究

作者：宿世超 趙曉霞 田宏波 王偉 宗軍

關(guān)鍵詞： HJT太陽電池 硼摻雜非晶硅發(fā)射極 暗電導(dǎo)率 摻雜濃度 梯度摻雜

機(jī)構(gòu)： 國家電投集團(tuán)新能源科技有限公司 國家電投集團(tuán)科學(xué)技術(shù)研究院有限公司

摘要： 晶硅/非晶硅異質(zhì)結(jié)(HJT)太陽電池由于具有高開壓、高轉(zhuǎn)換效率和低溫度系數(shù)等優(yōu)點而備受關(guān)注,其中硼摻雜p型非晶硅(p-a-Si∶H)發(fā)射極是高轉(zhuǎn)換效率電池中不可忽視的重要部分,改變其硼摻雜濃度,可以調(diào)節(jié)p-layer薄膜的電學(xué)特性,從而直接影響電池轉(zhuǎn)換效率。本文采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備制備HJT太陽電池,通過改變B2H6的摻雜濃度,對電池中p-a-Si∶H層進(jìn)行優(yōu)化,使HJT電池獲得0.75%的相對效率提升。進(jìn)一步地,將發(fā)射極設(shè)置為梯度摻雜的雙層結(jié)構(gòu),經(jīng)過優(yōu)化,少子壽命(@Δn=5×1015cm-3)和隱開路電壓(@1-Sun)分別提升400μs和3 mV,最終具有梯度摻雜發(fā)射極的電池其平均效率相對提升2.03%,主要表現(xiàn)為FF和Voc的明顯增加,實現(xiàn)了高效HJT電池p型發(fā)射極的工藝優(yōu)化。