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            化學(xué)氣相沉積氮化鈦薄膜的研究
            

            編號(hào)：CYYJ03831
            

            篇名：化學(xué)氣相沉積氮化鈦薄膜的研究
            

            作者：王俊寶 肖維維 梁蘭菊 高炬
            

            關(guān)鍵詞： TIN薄膜 化學(xué)氣相沉積 制備
            

            機(jī)構(gòu)： 棗莊學(xué)院光電工程學(xué)院 棗莊學(xué)院傳媒學(xué)院
            

            摘要： 氮化鈦薄膜材料具有優(yōu)良的性能,應(yīng)用廣闊,總結(jié)了化學(xué)氣相沉積制備氮化鈦薄膜的方法和原理,介紹了化學(xué)氣相沉積在制備氮化鈦方面的應(yīng)用現(xiàn)狀和研究成果,分析了各種化學(xué)氣相沉積方法的優(yōu)勢(shì)。
            



            

            

            

            


            

            

            

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