熱解法在氮化硼基底上沉積碳膜衰減器的工藝研究

編號：FTJS10234

篇名：熱解法在氮化硼基底上沉積碳膜衰減器的工藝研究

作者：張彬 高闿閱 高志強(qiáng) 程飛 高學(xué)強(qiáng) 張志強(qiáng)

關(guān)鍵詞： 螺旋線行波管 碳膜衰減器 熱解法 氮化硼

機(jī)構(gòu)： 濟(jì)鋼防務(wù)技術(shù)有限公司 山東微波電真空技術(shù)有限公司 棗莊學(xué)院

摘要： 螺旋線行波管是一種應(yīng)用較為廣泛的寬頻帶、高增益行波功率放大器件。衰減器是提高管子性能穩(wěn)定性的關(guān)鍵部件之一。它不僅可以吸收在管子輸入、輸出端及切斷端傳輸介質(zhì)的變化引起的反射波,抑制反射波和向前波疊加引起的自激振蕩;而且,可以減小傳輸電路在輸入、輸出端及切斷端產(chǎn)生的阻抗不匹配的影響,擴(kuò)寬行波管有效傳播的頻帶寬度;同時可以避免陶瓷桿的上的電荷積累造成的放電或電弧。文章通過低壓真空熱解正庚烷,調(diào)整加熱場熱子溫度、加熱時間、腔室氣壓、氣體流動等因素,制備出了滿足螺旋線行波管設(shè)計要求的碳膜衰減器。主要闡述和驗(yàn)證了碳膜衰減器制備過程中從選材到制備過程中的工藝要求及各因素對碳膜衰減器阻值的影響,為螺旋線行波管碳膜衰減器的制備提供了實(shí)驗(yàn)依據(jù)。