氮化鋁陶瓷中氧質(zhì)量分?jǐn)?shù)及其分布的測定

編號：NMJS08745

篇名：氮化鋁陶瓷中氧質(zhì)量分?jǐn)?shù)及其分布的測定

作者：韓麗輝 張智睿 吳昊陽 秦明禮 陳學(xué)娟

關(guān)鍵詞： 氮化鋁 氧分布 惰性熔融 紅外吸收法

機(jī)構(gòu)： 北京科技大學(xué)冶金與生態(tài)工程學(xué)院 北京科技大學(xué)新材料技術(shù)研究院 北京科大分析檢驗(yàn)中心有限公司

摘要： 氮化鋁陶瓷以其優(yōu)異的導(dǎo)熱性能成為集成電路、半導(dǎo)體及大功率器件的重要封裝材料,然而雜質(zhì)氧含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))直接影響著氮化鋁陶瓷的導(dǎo)熱性能。準(zhǔn)確測定氮化鋁陶瓷內(nèi)氧含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))及其分布十分重要。在惰性熔融紅外吸收法基礎(chǔ)上,對氮化鋁陶瓷中不同形式氧含量分析方法進(jìn)行了研究。通過步進(jìn)式升溫模式對樣品中的表面吸附氧、晶界氧和晶格氧的氧含量進(jìn)行分開測定,探討了坩堝、裕料的選擇及測試過程對結(jié)果的影響,分析了石墨粉含量對晶界氧的釋放作用,最終優(yōu)化了升溫程序、加粉順序以及稱樣量。通過氮化鋁陶瓷樣品多次平行試驗(yàn)對測定方法的準(zhǔn)確性進(jìn)行了驗(yàn)證,實(shí)測晶界氧和晶格氧含量的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為4.5%、8.5%,能夠滿足相關(guān)科研要求。