快速熱處理化學氣相沉積法制備用于電子產(chǎn)品熱管理的輕質(zhì)柔性石墨烯

編號：NMJS08730

篇名：快速熱處理化學氣相沉積法制備用于電子產(chǎn)品熱管理的輕質(zhì)柔性石墨烯

作者：Satendra Kumar Manoj Goswami Netrapal Singh Uday Deshpande Surender Kumar N.Sathish

關鍵詞： 石墨烯 熱管理 消費類電子產(chǎn)品 化學氣相沉積

機構： Academy of Scientific and Innovative Research（AcSIR） CSIR-Advanced Materials and Processes Research

摘要： 下一代電子產(chǎn)品的飛速發(fā)展對熱管理提出了更高的要求。初始石墨烯的導熱性是銅的13倍。本文通過快速熱處理化學氣相沉積(RTP-CVD)法制備了具有大sp2結構域的單層、雙層和多層石墨烯(SLG、BLG、FLG),進一步通過低濃度H2還原制備了高導熱石墨烯。在1000℃下生長25 min制備出SLG,利用拉曼光譜和透射電子顯微鏡(TEM)研究了石墨烯的品質(zhì)。為了驗證RTP-CVD法生成的石墨烯的散熱能力,將其作為2TB固態(tài)硬盤的散熱器,通過紅外熱成像儀進行了研究。結果證明,RTP-CVD生長的石墨烯用于消費電子產(chǎn)品的熱管理測試時性能表現(xiàn)優(yōu)異。SLG顯示溫度(最高)比商用銅散熱器低5℃,SLG的散熱能力比商用銅散熱器快200倍左右。綜上,利用RTP-CVD法制備的輕質(zhì)的柔性石墨烯可以成為下一代5G設備和消費電子產(chǎn)品熱管理的更好選擇。