飛秒激光燒蝕減薄石英玻璃研究進(jìn)展

編號(hào)：FTJS09813

篇名：飛秒激光燒蝕減薄石英玻璃研究進(jìn)展

作者：姚龍?jiān)?劉暢

關(guān)鍵詞： 激光技術(shù) 飛秒激光 石英玻璃 燒蝕減薄 微特征

機(jī)構(gòu)： 山東建筑大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院

摘要： 飛秒激光燒蝕加工與傳統(tǒng)皮秒或納秒激光加工相比,具有熱作用區(qū)域小、激光分辨率高、能夠抑制等離子體的物理屏蔽效應(yīng)等優(yōu)勢(shì),因而被廣泛應(yīng)用。基于雪崩電離和多光子電離效應(yīng),闡述了飛秒激光燒蝕透明電介質(zhì)材料機(jī)理,介紹了飛秒激光燒蝕制備不同微結(jié)構(gòu)件現(xiàn)狀,綜述了近年來(lái)國(guó)內(nèi)外飛秒激光微納加工石英玻璃燒蝕點(diǎn)、燒蝕線和燒蝕面微特征的研究方法和研究進(jìn)展,對(duì)微功能結(jié)構(gòu)件的實(shí)際應(yīng)用情況進(jìn)行了總結(jié),分析了現(xiàn)階段飛秒激光在加工透明電介質(zhì)領(lǐng)域存在的不足,最后對(duì)該技術(shù)的發(fā)展進(jìn)行了展望。