單晶硅拉晶爐富氬尾氣回收管道腐蝕原因

編號：SBJS01025

篇名：單晶硅拉晶爐富氬尾氣回收管道腐蝕原因

作者：杜大艷 袁有錄 焦文藝 黃夢元 李運楊

關(guān)鍵詞： 單晶硅拉晶爐 富氬尾氣 管道腐蝕 潤滑油

機構(gòu)： 三峽大學(xué)機械與動力學(xué)院石墨增材制造技術(shù)與裝備湖北省工程研究中心 宜昌市工業(yè)尾氣回收利用工程技術(shù)研究中心 湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司

摘要： 通過設(shè)備運行情況分析、化學(xué)成分分析,研究了單晶硅拉晶爐富氬尾氣回收管道的腐蝕原因。結(jié)果表明:引起管道腐蝕的原因是真空泵的潤滑油在高溫下分解產(chǎn)生了氟化氫、硫化氫及氯化氫等多種腐蝕性物質(zhì),這些腐蝕性物質(zhì)溶于冷凝水中,并隨著時間的延長逐漸累積,從而造成管道的腐蝕。通過吸附劑吸附、去離子水吸收以及優(yōu)化管道的材質(zhì)和壁厚解決了管道腐蝕問題。