Fe3O4特性對單晶SiC固相芬頓反應研磨丸片性能的影響

編號：CYYJ02874

篇名：Fe3O4特性對單晶SiC固相芬頓反應研磨丸片性能的影響

作者：路家斌 曹紀陽 鄧家云 閻秋生 胡達

關鍵詞： Fe3O4特性 固相芬頓反應研磨丸片 單晶SiC 研磨加工

機構： 廣東工業(yè)大學機電工程學院

摘要： 為提高單晶SiC研磨加工質(zhì)量和加工效率,制備固相芬頓反應研磨丸片,研究固相催化劑Fe3O4特性(粒徑和質(zhì)量分數(shù))對研磨丸片的硬度、抗彎強度、氣孔率、催化性能及其對單晶SiC研磨加工性能的影響。結果表明:隨著Fe3O4粒徑的增大,丸片的硬度和抗彎強度減小、氣孔率增大、催化性能減弱,材料去除率MMRR從43.12 nm/min降到36.82 nm/min,表面粗糙度Ra從1.06 nm增大到3.72 nm。隨著Fe3O4質(zhì)量分數(shù)的增大,丸片的硬度和抗彎強度減小、氣孔率增大、催化性能增強,MMRR從40.14 nm/min降到33.51 nm/min,表面粗糙度Ra先減小后增大,分別為3.25 nm、1.75 nm和1.88 nm。