納米氮化鋁粉體的制備及應用研究進展

編號：NMJS08376

篇名：納米氮化鋁粉體的制備及應用研究進展

作者：宋志鍵 劉世凱 黃威 徐天兵 陳穎鑫 孫亞光

關(guān)鍵詞： 氮化鋁 納米粉體 制備方法 應用領(lǐng)域 研究進展

機構(gòu)： 河南工業(yè)大學材料科學與工程學院 連云港市沃鑫高新材料有限公司

摘要： 納米氮化鋁(AlN)具有優(yōu)良的熱導率、電學性能和力學性能,被廣泛應用于新一代半導體器件。氮化鋁器件的性能表現(xiàn)取決于氮化鋁粉體的質(zhì)量,因此,優(yōu)質(zhì)氮化鋁粉體的制備是氮化鋁行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。本文綜述了氮化鋁的納米粉體制備及相關(guān)應用的研究進展,并討論了氮化鋁的發(fā)展方向。