基于羥基磷灰石的QCM濕度傳感器研究

編號：CYYJ02736

篇名：基于羥基磷灰石的QCM濕度傳感器研究

作者：沈兵 徐甲強 王爐煜 陳楊

關鍵詞： 羥基磷灰石 石英晶體微天平 溶膠凝膠法 濕敏特性 檢測精度

機構： 上海大學理學院 上海搖櫓儀器有限設備有限公司

摘要： 隨著物聯(lián)網(wǎng)信息化技術的發(fā)展,濕度傳感器檢測精度的要求越來越高,研究具有更好濕敏特性的材料變得日益重要。采用溶膠凝膠法制備了一種具有均勻棒狀結構、綠色無毒的羥基磷灰石納米材料,并將其負載在石英晶體微天平(QCM)上,構筑了高穩(wěn)定性和敏感性的濕度傳感器。通過測量QCM的共振頻移,研究了所構筑傳感器的濕敏特性,其共振頻移源于水分子氫鍵吸附所引發(fā)的附加質量負載變化。檢測結果顯示,該傳感器能在11%~97%相對濕度范圍內完成濕度檢測,且靈敏度高(20.16 Hz/RH)、響應時間短(12 s)、重現(xiàn)性好。研究成果在制造綠色無毒高靈敏性的濕度傳感器方面具有一定應用價值。