Na摻雜MoO3陶瓷靶材的制備及其成膜性能研究

編號(hào)：FTJS08975

篇名：Na摻雜MoO3陶瓷靶材的制備及其成膜性能研究

作者：雷金坤 李繼文 李召陽 劉偉 徐流杰

關(guān)鍵詞： 放電等離子燒結(jié) Na摻雜 MoO3陶瓷靶材 磁控濺射 Na離子源

機(jī)構(gòu)： 河南科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院 有色金屬新材料及先進(jìn)加工技術(shù)省部共建協(xié)同創(chuàng)新中心 金屬材料磨損控制與成型技術(shù)國家地方聯(lián)合工程研究中心

摘要： 為滿足薄膜太陽能電池對(duì)Na源充足與穩(wěn)定的需求,以鉬酸鈉和氧化鉬粉為原料,采用放電等離子燒結(jié)技術(shù)(SPS)制備了Na摻雜MoO3陶瓷靶材(Na-MoO3),研究了燒結(jié)溫度、燒結(jié)助劑Al和Na摻雜含量(“含量”指摩爾分?jǐn)?shù))對(duì)Na-MoO3靶材結(jié)構(gòu)、組織、致密度以及Na回收率的影響。結(jié)果表明:在燒結(jié)助劑Al含量為1%、Na含量為3%、燒結(jié)溫度為450℃的實(shí)驗(yàn)條件下,可以制備出致密度高(相對(duì)致密度98.2%)、鈉回收率高(94.3%)的Na-MoO3陶瓷靶材。隨著摻雜含量的增加,Na-MoO3靶材致密度和Na回收率降低。將含1%Al和3%Na的氧化鉬陶瓷靶材通過磁控濺射工藝濺射成膜,所制備的Na-MoO3薄膜結(jié)構(gòu)致密,0.28%Na元素均勻彌散分布于薄膜中。