氮化鋁陶瓷基板化學鍍鎳工藝優(yōu)化

編號：FTJS08974

篇名：氮化鋁陶瓷基板化學鍍鎳工藝優(yōu)化

作者：周波 馬驍 陳華三 楊磊

關鍵詞： 氮化鋁 陶瓷基板 化學鍍鎳 起泡 發(fā)黑 故障排除

機構： 中國電子科技集團公司第四十三研究所 合肥圣達電子科技實業(yè)有限公司

摘要： 氮化鋁陶瓷基板在化學鍍鎳生產(chǎn)過程中出現(xiàn)了局部區(qū)域起泡、腔體部位發(fā)黑的現(xiàn)象。通過故障復現(xiàn)試驗,發(fā)現(xiàn)原因有二:(1)化學鍍前基材鎢金屬化層在四周邊存在亮斑色差,亮斑區(qū)域屬于二次相聚集,與中間正常區(qū)域相比,鎢層連續(xù)性較差,導致鍍層與基材咬合力不足而起泡;(2)在烘干過程中,由于產(chǎn)品倒扣,腔體內(nèi)部兜水,大量高溫下形成的水蒸氣在腔體處無法排出,氮化鋁與熱的水蒸氣長時間接觸而發(fā)生水解反應,導致腔體周圍表面變黑。通過對鍍前來料的篩選,并在烘干時切水和腔體朝上放置,該問題得到了解決。