從多晶硅還原副產(chǎn)物回收六氯乙硅烷的工藝

編號(hào)：FTJS08839

篇名：從多晶硅還原副產(chǎn)物回收六氯乙硅烷的工藝

作者：明勇

關(guān)鍵詞： Aspen plus 多晶硅 還原副產(chǎn)物 六氯乙硅烷 精餾 工藝

機(jī)構(gòu)： 四川永祥新能源有限公司

摘要： 本文研究了改良西門子法多晶硅生產(chǎn)中從還原副產(chǎn)物回收六氯乙硅烷(Cl6Si2)的工藝。通過對(duì)還原副產(chǎn)物組分分析,并用Aspen plus結(jié)合副產(chǎn)物各組分的物性,利用精餾工藝對(duì)還原副產(chǎn)物進(jìn)行分離,回收和提純六氯乙硅烷(Cl6Si2)。并用靈敏度分析工具,得出流程中各精餾塔的最優(yōu)設(shè)計(jì)和最優(yōu)操作參數(shù),優(yōu)化后提純的六氯乙硅烷(Cl6Si2)純度達(dá)到99.98%,回收率98.2%。