溶膠-凝膠法制備PZT薄膜研究進(jìn)展

編號(hào)：FTJS08727

篇名：溶膠-凝膠法制備PZT薄膜研究進(jìn)展

作者：劉立崴 周闖 丁江

關(guān)鍵詞： 微機(jī)電系統(tǒng) 鐵電薄膜 鐵電性能 PZT薄膜 溶膠-凝膠法

機(jī)構(gòu)： 廣西大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院 中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所 廣西制造系統(tǒng)與先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

摘要： 隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,鐵電薄膜材料作為微機(jī)電器件的重要組成部分而愈受重視。鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜具有優(yōu)越的壓電性、熱釋電性及光電性等性能,在微電子、壓電、光學(xué)及半導(dǎo)體等領(lǐng)域展現(xiàn)了巨大的應(yīng)用潛力。因此,高性能PZT薄膜的制備技術(shù)及制備工藝一直備受關(guān)注。其中,溶膠-凝膠法因具有易于控制成分,所需設(shè)備成本低及制備薄膜的均勻性好等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛用于PZT薄膜制作中。該文在溶膠-凝膠法基本原理及制作工藝的基礎(chǔ)上,著重分析了溶膠-凝膠法制備PZT薄膜的研究現(xiàn)狀,總結(jié)了當(dāng)前溶膠-凝膠法的技術(shù)特點(diǎn),并指出了研究中存在的不足及未來的潛在改進(jìn)方向。