籽晶類型對高效多晶硅鑄錠質量的影響

編號：CYYJ02517

篇名：籽晶類型對高效多晶硅鑄錠質量的影響

作者：劉世龍 周耐根 劉淑慧

關鍵詞： 籽晶 多晶硅 少子壽命 位錯密度

機構： 江蘇美科硅能源有限公司 南昌大學材料科學與工程學院

摘要： 在相同的爐臺、坩堝和鑄錠條件下,對比研究了半圓柱形致密原生多晶硅棒料和多晶硅顆粒料作為籽晶對高效多晶硅鑄錠質量的影響。通過光致發(fā)光(PL)圖、少數(shù)載流子壽命、化學金相腐蝕等方式分析了兩種籽晶下鑄錠的質量。結果表明:致密原生多晶硅棒料作為籽晶具有一定的形核優(yōu)勢,尾料底部沒有空洞,晶粒垂直性、晶粒均勻性相對較好;少數(shù)載流子壽命圖譜均勻性相對較好,平均少數(shù)載流子壽命高0.32μs,從多晶硅錠底部到頭部的位錯密度比多晶硅顆粒料作為籽晶時要低。