回轉(zhuǎn)橢球體氟化鈣毫米晶體微腔制備與諧振特性分析

編號：NMJS07919

篇名：回轉(zhuǎn)橢球體氟化鈣毫米晶體微腔制備與諧振特性分析

作者：王夢宇 楊煜 吳濤 劉彬 伏燕軍 王克逸

關(guān)鍵詞： 光學(xué)器件 光學(xué)微腔 超精密加工 光學(xué)諧振器 回音壁模式

機(jī)構(gòu)： 南昌航空大學(xué)無損檢測教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機(jī)械與精密儀器系

摘要： 氟化鈣晶體微腔相比玻璃材料微腔,具有吸收系數(shù)小、缺陷少、純度高、對周圍環(huán)境濕度不敏感的優(yōu)勢,在微波光子學(xué)、陀螺儀和非線性光學(xué)等領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用價(jià)值。通過超精密加工技術(shù)制備了回轉(zhuǎn)橢球體氟化鈣毫米晶體微腔。研發(fā)了一套精密加工系統(tǒng)來制備這種微腔,所制得的微腔形狀為回轉(zhuǎn)橢球體,微腔結(jié)構(gòu)邊緣表面粗糙度低至1.97 nm。使用光纖錐波導(dǎo)與氟化鈣微腔實(shí)現(xiàn)了高效耦合,此耦合系統(tǒng)展現(xiàn)了高達(dá)~108的超高品質(zhì)因子Q值和低至約0.03 nm的自由光譜范圍。這些結(jié)果證明了針對氟化鈣微腔的加工手段具有重要意義,將大大促進(jìn)其應(yīng)用。氟化鈣微腔的特性也證明了它在光學(xué)濾波器、腔量子動(dòng)力學(xué)、非線性光學(xué)和陀螺儀等應(yīng)用中的潛力。