微波退火和快速熱退火下鈦調制鎳與鍺錫反應

編號：FTJS08360

篇名：微波退火和快速熱退火下鈦調制鎳與鍺錫反應

作者：劉偉 平云霞 楊俊 薛忠營 魏星 武愛民 俞文杰 張波

關鍵詞： 微波退火 快速熱退火 鍺錫合金 鈦插入層

機構： 上海工程技術大學數理與統計學院 中國科學院上海微系統與信息技術研究所

摘要： 本文研究了1 nm鈦作為插入層的條件下,鎳與鍺錫合金在不同退火溫度下的固相反應,比較了微波退火和快速熱退火對鎳鍺錫化物形成的影響.研究結果表明:在微波退火300℃、快速熱退火350℃條件下,可以形成連續(xù)平整的鎳鍺錫薄膜.通過進一步分析鎳鍺錫薄膜的元素分布,發(fā)現1 nm鈦插入層發(fā)生"層轉移"現象,鈦在鎳與鍺錫合金反應后分布在樣品的表面,由"插入層"變?yōu)?蓋帽層";而錫元素因受到金屬鈦的調制作用,主要分布在鎳鍺錫薄膜/鍺錫襯底的界面.