氮化鋁基板上厚膜電阻性能分析

編號(hào)：CYYJ02348

篇名：氮化鋁基板上厚膜電阻性能分析

作者：郝沄 李創(chuàng) 吳鑫 袁海 任英哲 楊春燕

關(guān)鍵詞： ALN 厚膜電阻 電阻設(shè)計(jì) 溫度系數(shù) 阻值穩(wěn)定性

機(jī)構(gòu)： 西安微電子技術(shù)研究所

摘要： 在AlN基板上,使用IKTS電阻漿料制作了4種方阻的厚膜電阻,確定了AlN基板用電阻的阻值與設(shè)計(jì)方數(shù)的關(guān)系,推算出了不同方數(shù)下的電阻設(shè)計(jì)比例。測(cè)試了電阻的溫度系數(shù),測(cè)量結(jié)果均小于150×10-6/℃。使用激光調(diào)值機(jī)對(duì)4種方阻的電阻進(jìn)行調(diào)值,經(jīng)150 ℃、1 000 h高溫存儲(chǔ),阻值變化率<1.5%。