氧化鎵晶體不同晶面的納米力學性能

編號：CYYJ02239

篇名：氧化鎵晶體不同晶面的納米力學性能

作者：周海 宋放 韋嘉輝 李永康

關(guān)鍵詞： 氧化鎵晶體 納米壓痕 納米劃痕 力學性能 塑性域加工

機構(gòu)： 鹽城工學院機械工程學院

摘要： 為了分析易解理的脆性氧化鎵晶體的精密加工過程中材料去除機理,采用金剛石壓頭、G200型納米壓痕儀,分別對氧化鎵晶體的(100)和(010)2個主要晶面的納米力學性能進行了試驗研究。納米壓痕試驗發(fā)現(xiàn):2個晶面都有"pop-in"現(xiàn)象,首次出現(xiàn)pop-in的載荷分別為:4.31 m N和5.42 m N。通過變載荷納米劃痕試驗和VK-X110激光顯微系統(tǒng)觀測,發(fā)現(xiàn)2個晶面都有"pile-up"現(xiàn)象,刻劃過程中期均出現(xiàn)了塑性域加工特征,(100)和(010)晶面的塑性域加工切削深度范圍分別是96.5~576.8 nm和84.6~421.6 nm。