基于納米壓印和鍵合制造尺寸可控的微/納米流體芯片研究

編號：CYYJ02223

篇名：基于納米壓印和鍵合制造尺寸可控的微/納米流體芯片研究

作者：黃達 張然 樊元義 劉驍 褚金奎

關(guān)鍵詞： 納米壓印 納米通道 微納流控 表面改性

機構(gòu)： 大連理工大學精密與特種加工教育部重點實驗室

摘要： 微納流控芯片在生物、醫(yī)學等領(lǐng)域有著重要的應用價值。針對納米壓印技術(shù)進行微納流控芯片制作過程中,通道尺寸難以調(diào)節(jié)以及納米通道難以與帶有微通道的PDMS(polydimethylsiloxane)鍵合等問題,提出一種通過膠厚調(diào)節(jié)尺寸和在納米溝槽表面沉積氮化硅作為鍵合層的方案。通過納米壓印光刻進行納米溝槽的制作,并通過控制壓印膠的厚度實現(xiàn)了對納米溝槽高度的調(diào)節(jié);在納米溝槽表面沉積氮化硅作為鍵合層,使用氧等離子體對PDMS表面進行改性,實現(xiàn)PDMS與納米溝槽的鍵合。采用這種工藝制作了納米通道尺寸小于100 nm的微納流控芯片,并對芯片進行了熒光離子富集試驗,結(jié)果顯示該芯片具有較好的富集能力。