大尺寸氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌超精研拋工藝研究

編號(hào)：FTJS07778

篇名：大尺寸氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌超精研拋工藝研究

作者：劉劍 蔡黎明 成賢鍇 顧國剛 于涌

關(guān)鍵詞： 高精度 陶瓷導(dǎo)軌 超精研拋

機(jī)構(gòu)： 長春理工大學(xué) 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所

摘要： 為了提高氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌超精密研拋加工的工作效率,分析了研拋壓力、研拋速度以及磨料添加間隔等工藝參數(shù)與研磨拋光效率的關(guān)系。首先,根據(jù)氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌的特性及物理參數(shù),確定研磨拋光盤以及磨料的選型。然后以高精度平面平晶作為檢測工具,平晶與導(dǎo)軌表面形成干涉條紋,利用條紋的數(shù)量定量表征研拋效果。最終得到氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌的最佳工藝參數(shù):每個(gè)研拋壓力應(yīng)該控制在40 N;研拋線速度為45 m/min;研磨劑的添加時(shí)間為30 min。在同等時(shí)間內(nèi),應(yīng)用此套工藝參數(shù)可以達(dá)到更高的面型精度。