基于黑磷烯/氧化石墨烯雙介質(zhì)層的柔性電容式壓力傳感器

編號(hào)：SBJS00708

篇名：基于黑磷烯/氧化石墨烯雙介質(zhì)層的柔性電容式壓力傳感器

作者：聶萌 郭安琪 陳佳琦 徐峰

關(guān)鍵詞： 柔性 電容式壓力傳感器 黑磷烯 氧化石墨烯 靈敏度

機(jī)構(gòu)： 東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

摘要： 設(shè)計(jì)并制備了由黑磷烯/氧化石墨烯雙層材料為介質(zhì)層的電容式柔性壓力傳感器,該傳感器結(jié)構(gòu)以ITO為電容上下極板,PET為柔性基底,并對該傳感器進(jìn)行了系統(tǒng)的性能測試與分析。著重研究了該傳感器在不同壓力量程內(nèi)的靈敏度,進(jìn)而分析了其溫度漂移特性。測試結(jié)果表明,以黑磷烯/氧化石墨烯薄膜為雙介質(zhì)層的電容式柔性壓力傳感器在0~3.12 kPa壓力量程內(nèi)靈敏度可達(dá)到1.60 kPa -1 。同時(shí),對該傳感器和以氧化石墨烯薄膜為單介質(zhì)層的傳感器進(jìn)行了彎曲應(yīng)變性能的對照實(shí)驗(yàn),可知具有雙介質(zhì)層的傳感器結(jié)構(gòu)能夠顯著提高傳感器的輸出特性。