碲鎘汞液相外延石墨舟的溫度場均勻性改善

編號：NMJS07244

篇名：碲鎘汞液相外延石墨舟的溫度場均勻性改善

作者：陸駿 李東升 木勝 萬志遠(yuǎn) 朱輝 薄俊祥 楊岸 黃元晉 王志斌

關(guān)鍵詞： 石墨舟 溫度場均勻性 碲鎘汞 LPE

機(jī)構(gòu)： 昆明物理研究所

摘要： 對碲鎘汞液相外延(Liquid phase epitaxy,LPE)石墨舟進(jìn)行了數(shù)值模擬,計算了石墨舟溫度場分布。通過在母液周圍加入石英框,分析其對溫度場的影響,得到了石英框壁厚與溫度分布的關(guān)系。模擬發(fā)現(xiàn),在母液周圍加入石英框結(jié)構(gòu),可以提高外延生長界面溫度場均勻性。最后,將分析結(jié)果與實驗相結(jié)合,進(jìn)行實驗驗證,成功降低了邊界效應(yīng)對碲鎘汞薄膜的影響,外延生長出厚度極差Δδ為1.4μm、組分極差Δx不超過0.002的長波碲鎘汞薄膜。