石墨烯基SnO_x-Sn氣體傳感器靈敏度影響因素研究

編號：SBJS00697

篇名：石墨烯基SnO_x-Sn氣體傳感器靈敏度影響因素研究

作者：袁雨桐 楊洋飛飛 趙藝遠 黃文杰 謝海芬

關(guān)鍵詞： 石墨烯基 氧化錫 熱蒸發(fā) 甲醛 二氧化氮

機構(gòu)： 華東理工大學(xué)理學(xué)院物理系

摘要： 為提高本征石墨烯的氣敏特性,將錫和氧化錫薄膜蒸鍍在氣相沉積法制備的石墨烯表面,制成石墨烯基SnOx-Sn氣體傳感器,通過原子力顯微鏡(AFM)、場發(fā)射掃描電鏡(FESEM)對其表面結(jié)構(gòu)進行表征。并測試了其在室溫下對低體積分數(shù)甲醛和二氧化氮(NO2)氣體的響應(yīng)特性。研究并分析了膜蒸發(fā)速率、基底加熱時間、氧氣流量對傳感器響應(yīng)靈敏度的影響。