試樣傾斜對熔融石英硅三棱錐納米壓痕測試的影響

編號：FTJS07177

篇名：試樣傾斜對熔融石英硅三棱錐納米壓痕測試的影響

作者：朱光宇 董翔宇 高誠輝 劉明

關(guān)鍵詞： 計(jì)量學(xué) 納米壓痕 試樣傾斜 熔融石英 三棱錐壓頭

機(jī)構(gòu)： 福州大學(xué)機(jī)械工程及自動(dòng)化學(xué)院

摘要： 使用三棱錐壓頭對不同傾斜角下的熔融石英硅進(jìn)行納米壓痕實(shí)驗(yàn)。結(jié)果表明,試樣傾斜會影響加載曲線的形狀。在相同的載荷下,隨著試樣傾斜角的增加,壓痕最大深度、殘余深度及接觸深度逐漸減小,但卸載曲線不受影響,彼此保持平行,卸載曲線的擬合參數(shù)m及接觸剛度值保持恒定。另外,試樣傾斜將導(dǎo)致測量的壓痕接觸面積偏小,從而使得測量的硬度和彈性模量偏大。