基于納米劃痕儀的單晶鍺納米溝槽加工實驗研究

編號：FTJS07142

篇名：基于納米劃痕儀的單晶鍺納米溝槽加工實驗研究

作者：楊曉京 羅良

關鍵詞： 納米溝槽 單晶鍺 切削速度 垂直載荷 刻劃次數

機構： 昆明理工大學

摘要： 為了提高納米鍺器件的制造精度,使用納米劃痕儀對單晶鍺進行納米溝槽刻劃加工實驗,采用掃描電子顯微鏡對溝槽形貌進行觀察,并通過三維白光干涉表面形貌儀測量其三維形貌尺寸,研究了切削速度、施加的垂直載荷及刻劃次數對單晶鍺納米溝槽形貌的影響。建立了垂直載荷和刻劃次數與溝槽深度及寬度的線性擬合曲線和冪函數擬合曲線,并進行分析。結果表明,單晶鍺納米溝槽的寬度和深度隨切削速度的變化非常小,隨著垂直載荷的增大,刻劃次數的增多而逐漸增大。曲線的擬合度很高,能夠對制造納米溝槽的深度和寬度進行較為準確的預測,從而可以降低工件表面粗糙度,提高工件表面質量。