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            二氧化釩納米周期點陣的光學特性

            編號:CPJS05429

            篇名:二氧化釩納米周期點陣的光學特性

            作者:唐佳茵[1] ;李毅[1,2] ;孫瑤[1] ;劉飛[1] ;郝如龍[1] ;伍征義[1] ;蔣蔚[1] ;徐婷婷[1] ;陳培祖[1] ;方寶英[1] ;王曉華[1,3] ;肖寒[1]

            關(guān)鍵詞: VO2 納米周期點陣 光學特性 熱致相變

            機構(gòu): [1]上海理工大學光電信息與計算機工程學院,上海200093; [2]上海市現(xiàn)代光學系統(tǒng)重點實驗室,上海200093; [3]上海電力學院計算機與信息工程學院,上海200090

            摘要: 為了得到相變溫度低且性能優(yōu)越的智能窗光學材料,基于時域有限差分法模擬計算了不同結(jié)構(gòu)的VO_2納米周期點陣相變前后的光學特性,優(yōu)選出最佳的VO_2納米周期點陣結(jié)構(gòu).采用直流磁控濺射和后退火工藝在玻璃襯底上制備VO_2薄膜,再利用掩膜光刻的方法制備VO_2納米周期點陣結(jié)構(gòu),測試其組分結(jié)構(gòu),反射和透過率曲線.結(jié)果表明,填充比為0.74的圓形納米周期點陣的相變溫度有效降低了約25℃,在波長為1700 nm處的透過率改變量達到39%,透過率整體高于VO_2薄膜,呈現(xiàn)出良好的相變光學特性,說明通過調(diào)控VO_2納米周期點陣的結(jié)構(gòu)可以有效提升材料的光學特性.

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