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            柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層

            編號:CPJS05317

            篇名:柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層

            作者:金德里奇·繆塞爾

            關(guān)鍵詞:硬質(zhì)納米復(fù)合涂層 微觀結(jié)構(gòu) 宏觀應(yīng)力 力學(xué)性能 能量 柔性 裂紋抑制 磁控濺射

            機構(gòu): 西波西米亞大學(xué)物理和NTIS部,捷克比爾森CZ-30614

            摘要: 研究了利用磁控濺射方法制備的柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層。結(jié)果表明柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層具有以下優(yōu)異性能:是一類具有高硬度、高韌性以及抗裂紋性能的新型涂層;具有較高的硬度模量比(H/E*≥0.1,E*=E/(1-ν2))、彈性恢復(fù)系數(shù)(We≥60%)、壓應(yīng)力(σ〈0)L,且少缺陷的微觀結(jié)構(gòu);生長處于Thornton結(jié)構(gòu)區(qū)域相圖的T區(qū)。磁控濺射非常適合制備納米復(fù)合涂層,文中將對其制備柔性納米復(fù)合薄膜的機理做深入闡述。涂層生長主要受以下3個參數(shù)影響:涂層生長過程中吸收的能量Ep,其包含沉積原子攜帶的能量Eca和轟擊離子攜帶等能量Ebi(Ep=Eca+Ebi),基體溫度Ts和涂層材料的熔點Tm。柔性硬質(zhì)涂層具有廣泛的應(yīng)用前景,如柔性保護涂層、柔性功能涂層、防脆性涂層開裂的柔性保護涂層以及柔性多層涂層。文中還將詳細闡述低溫磁控濺射制備柔性納米復(fù)合涂層的原理,并闡述納米復(fù)合涂層及其性能的發(fā)展趨勢。

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